地方経済

半導体製造中の微細不純物を瞬時除去 トクヤマ、台湾工研院と技術を共同開発へ

2021/3/18 22:07

 総合化学メーカーのトクヤマ(周南市)は18日、半導体の製造工程で出る微細な不純物を瞬時に見つけて除去する技術を、台湾の工業技術研究院と共同開発すると発表した。第5世代(5G)移動通信システムの進展などで次世代半導体が高性能化、微細化するとみて、半導体向け洗浄液の品質を高める。
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