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旭化成、製造設備から出火と推定 宮崎県の半導体工場火災

2021/9/14 13:39
 火災が起きた「旭化成マイクロシステム」延岡事業所=2020年10月、宮崎県延岡市

 火災が起きた「旭化成マイクロシステム」延岡事業所=2020年10月、宮崎県延岡市

 旭化成は14日、宮崎県延岡市の半導体工場で昨年10月に発生した火災について、クリーンルーム内の製造設備が出火場所になったと推定したと発表した。建屋内の損傷が激しく、出火原因は特定できなかったが、「電気的要因」と推定した。工場は現在も停止中で、復旧見通しは「未定」と改めて説明した。

 火災が起きた工場では自動車や音響メーカー向けの高密度集積回路(LSI)を生産していた。工場が停止したため、国内外の他メーカーが代替生産している。

 同社は、5階建て工場の4階にある半導体材料のウエハーを製造する設備である「チタン除去装置」から出火したと推定した。


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